마스크 조준기는 무슨 뜻인가요?
라이트 각인기는 마스크 정렬 노출기, 노출 시스템, 리소그래피 시스템 등이라고도 합니다. 일반적으로 사용되는 마스크 리소그래피는 마스크 정렬 리소그래피이므로 마스크 정렬 시스템이라고 합니다.
리소그래피는 빛으로 패턴 (프로세스) 을 만드는 것입니다.
실리콘 표면에 접착제를 칠한 다음 마스크판의 패턴을 포토 레지스트로 옮겨 부품 또는 회로 구조를 실리콘 칩에 일시적으로 "복사" 하는 프로세스입니다.
확장 데이터:
리소그래피 소개:
일반적인 리소그래피 공정은 실리콘 표면 세정 건조, 밑받침, 회전 코팅 리소그래피, 소프트 구이, 정렬 노출, 후구이, 현상, 하드구이, 에칭, 검출 등의 과정을 거칩니다.
기존 광학 리소그래피가 프로세스 한계에 가까운 경우 전자빔 리소그래피는 193i 로 대표되는 현재 광학 노출 기술 및 EUV 기술과 일치하는 혼합 리소그래피에서 발생할 수 있으며 10nm 리소그래피를 구현하는 데 중요한 역할을 합니다.
흥미롭게도 전자빔 노출 기술은 마이크로전자와 마이크로가공 기술의 진일보한 발전을 촉진하는 핵심 기술로 마이크로전자, 마이크로광학, 마이크로기계 등 마이크로시스템 마이크로가공 분야에서 광범위하게 응용할 수 있는 전망을 가지고 있다. 전자빔 직접 쓰기 리소그래피 자체를 제외하고 차세대 리소그래피 기술에 필요한 마스크판은 전자빔 노출 기술과 거의 불가분의 관계에 있다.
바이두 백과-리소그래피
바이두 백과-마스크 조준기