리소그래피 제조에는 어떤 기술이 필요합니까
1822 년 프랑스인 Nicephoreniepce (니엡스) 가 리소그래피 기계를 발명했는데, 처음에는 Nicephoreniepce 가 기름종이에 새길 수 있는 자국을 발견했는데, 유리 조각에 나타났을 때 한동안 햇볕을 쬐었다. < P > 리소그래피 기계가 일찍 발명되었지만, 발명 이후 제 2 차 세계 대전 때까지 다양한 산업 분야에서 사용되지 않았습니다. 이 기술은 인쇄 회로 기판에 적용되었으며, 사용 된 재료와 초기 발명에 사용 된 재료도 크게 달랐습니다. 플라스틱 판에서 구리 회로를 통해 제작되어 회로 기판이 보편화되었으며 단기간에 많은 전자 장비 분야에서 가장 중요한 부분이되었습니다. < P > 현재, 리소그래피 기계는 반도체 생산 제조의 주요 생산 설비가 되었으며, 전체 반도체 시장 수준 공예의 상징도 결정하였다. < P > 둘째, 리소그래피 제조에 필요한 기술 < P > 리소그래피 기계의 제조 시스템은 매우 복잡하며 정밀 부품 및 조립 기술이라는 두 가지 중요한 요소가 있습니다.
1, 정밀 부품 < P > 한 대의 리소그래피 기계 제조에는 수만 개의 정밀 부품이 필요합니다. 일반적으로 리소그래피 기계 제조에는 약 8, 개의 정밀 부품이 필요하며, 현재 세계에서 가장 발전된 극자외선 EUV 리소그래피 기계에 필요한 제조 부품은 1 만 개 이상입니다. < P > 전체 리소그래피 시스템은 주로 노출 시스템, 자동 정렬 시스템, 전체 장치 소프트웨어 시스템 등을 포함한 여러 구성 시스템으로 구성됩니다. 그 중에서도 노출 시스템은 조명 시스템과 투영 물경을 포함한다. < P > 광학 기술을 구성하는 모든 핵심 정밀 부품 중에서 광학 렌즈, 광학 광원, 이중 작업대는 코어의 핵심이라고 할 수 있습니다. < P > 높은 숫자 구멍 지름을 가진 광학 렌즈는 리소그래피 기계의 해상도와 임계값 오차 기능을 결정하는 것입니다. 해상도와 세트값 오차 능력은 한 대의 리소그래피 기계에 매우 중요하다. 세계에서 가장 선진적인 EUV 극자외선 각인기에서 유일하게 사용할 수 있는 렌즈는 채사가 생산한 렌즈다. < P > 리소그래피 기계의 광학 광원에 포함 된 광원 파장은 리소그래피 기계의 산업 능력을 결정하는 중요한 부분입니다. 특히, 리소그래피 기계에 필요한 광원은 작고, 전력이 높으며, 안정적인 몇 가지 특징을 갖추어야 한다는 점에 유의해야 한다. (윌리엄 셰익스피어, 리소그래피, 리소그래피, 리소그래피, 리소그래피, 리소그래피) < P > 예를 들어, 극자외선 EUV 리소그래피기에서 사용하는 빛의 파장은 단지 13.5nm 에 불과한 극자외선으로, 사용되는 광학 시스템은 매우 복잡하다. < P > 리소그래피 기계에 필요한 작업대는 리소그래피 기계의 정확도와 생산성에 영향을 줄 수 있으며, 포함된 종합 기술은 매우 어렵습니다. 이 워크벤치에는 위아래, 정렬, 원형 면 측정, 노출 등 리소그래피 기계 작동 중 일련의 초정밀 모션 시스템을 완성할 수 있는 실리콘 웨이퍼가 장착되어 있기 때문입니다.
2, 조립 기술 < P > 한 대의 리소그래피 기계는 정밀한 부품뿐만 아니라 이러한 부품의 조립 기술도 중요하다.
모든 부품이 준비되면 다음 조립 과정은 한 리소그래피기의 운영 성능에 직접적인 영향을 미칩니다. 현재 리소그래피 기계의 주요 제조업체인 네덜란드 ASML (중국어 번역: 아스멜) 의 생산 과정은 본질적으로 부품 조립 회사와 더 비슷하다. ASML 이 리소그래피 기계를 생산하는 데 필요한 부품의 거의 9% 가 전 세계에서 구매되고 있으며, 전 세계에 5, 개 이상의 공급업체가 있기 때문이다. < P > 즉, ASML 이 리소그래피 제조 기술에서 니콘 및 캐논과 같은 다른 리소그래피 기계 생산 상대를 물리치고 글로벌 리소그래피 제조 및 판매 시장에서 선두를 차지할 수 있는 한 가지 중요한 이유는 강력한 조립 기술입니다. < P > 강력한 리소그래피 기계 조립 업체는 다양한 정밀 부품이 어떻게 조립되는지 명확하게 이해할 수 있도록 다양한 숙련 된 기술 근로자와 다양한 조립 분야의 지적 재산권이 필요합니다. 따라서 숙련 된 운영 및 시스템 지식을 통해 리소그래피 기계를 빠르고 정확하게 만들 수 있습니다. < P > 우리나라는 현재 리소그래피 기계 기술 방면에서 거의 2 년간의 핵심 기술 공략을 거쳐 장족의 발전을 이루었다. < P > 광각기 쌍작업대에서 중국 화탁정과와 칭화팀 생산이 공동으로 개발한 쌍작업대는 이미 ASML 의 기술 독점을 깨뜨렸고, 광각기의 동시조명설비와 광학렌즈의 기술도 하공대 등 전국 유명 과학연구기관의 집중력 연구에서 급격한 발전을 이뤘다. < P > 는 현재 우리나라의 인재 자원 자금 등 모든 방면이 이미 갖추어져 있으며, 앞으로 우리 자신의 리소그래피 기계를 보유하고 있는 것은 시간문제일 뿐, 미래의 전망은 예상할 수 있다고 할 수 있습니다!